三坐标测量机（简称CMM）属于高精密测量设备，出厂前都进行了周密的调试、检测和补偿。所以对CMM的使用和保养有严格的要求。如果维护及保养做得及时，就能延长机器的使用寿命，并使精度得到保障、降低故障率。 1.在进行每天的工作之前，用干净、不掉纤维的高支纱布浸透99％纯度工业无水乙醇清洁空气轴承导轨滑动通道的所有裸露表面。清洁工作台面和用于校准的探针头和标准球表面。每一周用酒精擦拭一次防尘罩下的气浮轴承导轨面，除去防尘罩上的灰尘。 2.观察测量室内的温度和湿度，保证其在厂家要求的范围内，做好每日温湿度控制图记录。在长时间没有使用三坐标测量机时，在开机前应做好准备工作，定期把控制柜打开，使电路板也得到充分的干燥，避免电控系统由于受潮后突然加电后损坏，一个月更换一次控制柜里的海绵过滤网。 3.检查机床气源，放水放油，定期清洗过滤器及油水分离器。检查供气装置是否松动或损坏，测量机的外罩是否松动或损坏。 4.定期给光杆、丝杆、齿条上少量防锈油。 5.开机前检查电源，配置稳压电源，定期检查接地，接地电阻小于4欧姆。